適用領域 :
半導體製造與面板製造曝光機
適用機型 :
日系 : C社, H社, N社, O社
美系 : U社, S社
功能成效 :
節能 > 60%
減少維修時間與成本
避免無預期當機
適用於半導體製造與光電面板製造的真空機台
應用的機型 :
| 廠商 | 科斯邁 Eco Cooling |
|---|---|
|
導入實績 |
121台（2023/3~）* |
|
系統專利 |
4篇（2023/3~）* |
|
改造方式 |
外掛式專利* |
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標配功能：一鍵復歸 |
原系統與節能系統，快速切換 |
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標配功能：控溫系統 |
追溫系統取代加熱器 |
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選配功能：Recipe Control |
有，可對應多道製程 |
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維護成本 |
無耗材 |
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壓縮機 & 加熱器 節能效益 |
~100% |
產品規格：
· 溫度設定範圍：25～80 ℃
· 溫度精度：±0.5 ℃（冷卻出口）
· 冷卻能力：17.16 KW
· 加熱器功率：2 KW
· 水箱容量：3 公升
· 幫浦規格：最大揚程 21 公尺、最大流量 58 公升/分鐘
· 尺寸：650 寬 × 650 深 × 1400 高（mm）
· 重量：100 公斤 ±10%
· 冷卻水（PCW）：18±1 ℃，流量 20～50 公升/分鐘
· 電力需求：單相 208V、50/60Hz、9A／2 KVA
產品應用：
產品特點：
| 耗電量比較（Chiller V.S. eCR） | ||
|---|---|---|
|
項目 |
Chiller |
eCR |
|
壓縮機 |
100% |
X |
|
加熱器 |
100% |
70% |
|
幫浦 |
100% |
100% |
|
總計 |
100% |
50% |
適用於 : 半導體曝光機
功能 : AMC 去除 + 溫度控制
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