Technology and Patents

技術創新 × 專利保障

科斯邁以節能、潔淨與智慧控制為核心研發方向，結合感測技術、系統整合與模組化設計，開發出多項專利技術，廣泛應用於半導體、面板、光罩與封裝等高階製程場域。我們不只是設備供應商，更是製程效能優化的技術夥伴。

間接供氣的製程系統

超潔淨控風系統

Composite energy-saving environmental control system

Energy-saving internal environment intelligent balancing system

環境潔淨系統

溫控設備

Cleaning control system and wafer transfer equipment

曝光機之燈源的節能式智能冷卻系統

External energy-saving liquid cooling temperature control system

化學機械研磨系統

化學機械研磨墊

儲存倉系統

低能耗穩定溫控系統

低能耗環境控制系統

除塵整合設備