応用分野:
半導体製造およびパネル製造用露光装置
対象機種:
日本語：C社、H社、N社、O社
アメリカ：U社、S社
機能的効果:
省エネ > 60%
メンテナンスの時間とコストを削減
予期せぬクラッシュを回避する
半導体製造や太陽光発電パネル製造に適した真空装置
対象機種:
| メーカー | コスマエコクーリング |
|---|---|
|
導入結果 |
121戸（2023年3月～）* |
|
システム特許 |
4件（2023年3月～）* |
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変換方法 |
プラグイン特許* |
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標準機能：ワンキーリカバリ |
オリジナルシステムと省エネシステムの迅速な切り替え |
|
標準機能：温度制御システム |
ヒーターの代わりに熱追跡システム |
|
オプション機能: レシピコントロール |
はい、複数のプロセスを処理できます |
|
メンテナンス費用 |
消耗品なし |
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コンプレッサーとヒーターの省エネ効果 |
~100% |
仕様:
温度設定範囲：25～80℃
温度精度: ±0.5°C (冷却出口)
冷却能力：17.16kW
ヒーター出力：2KW
水タンク容量：3リットル
ポンプ仕様：最大揚程21メートル、最大流量58リットル/分
寸法：幅650mm×奥行650mm×高さ1400mm（mm）
重量: 100 kg ± 10%
冷却水（PCW）：18±1℃、流量20～50リットル/分
電源要件: 単相208V、50/60Hz、9A/2KVA
製品の用途:
特徴：
| 消費電力の比較（チラー vs. eCR） | ||
|---|---|---|
|
プロジェクト |
チラー |
eCR |
|
コンプレッサー |
100% |
X |
|
ヒータ |
100% |
70% |
|
ポンプ |
100% |
100% |
|
合計 |
100% |
50% |
対象: 半導体露光装置
関数 ： AMC除去+温度制御
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