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技術と特許
技術創新 × 專利保障
技術專利一覽
持續創新,為製造效能注入動能
科斯邁以節能、潔淨與智慧控制為核心研發方向,結合感測技術、系統整合與模組化設計,開發出多項專利技術,廣泛應用於半導體、面板、光罩與封裝等高階製程場域。我們不只是設備供應商,更是製程效能優化的技術夥伴。
間接供氣的製程系統
超潔淨控風系統
複合省エネ環境制御システム
省エネ内部環境インテリジェントバランスシステム
環境潔淨系統
溫控設備
洗浄制御システムおよびウェハ搬送装置
曝光機之燈源的節能式智能冷卻系統
外部省エネ液冷温度制御システム
化學機械研磨系統
化學機械研磨墊
儲存倉系統
低能耗穩定溫控系統
低能耗環境控制系統
除塵整合設備
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